离子刻蚀（关于离子刻蚀的介绍）

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1、离子束刻蚀也称为离子铣，是指当定向高能离子向固体靶撞击时，能量从入射离子转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量时，固体表面原子就会被移开或从表面上被除掉。

2、通常离子束刻蚀所用的离子来自惰性气体。

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